氨浓度计
ON-96
(制造单位:HORIBA Advanced Techno有限公司)
概要
近年来随着LSI的高度集约化,需要高纯度的电子工业用药液。ON-96可以高精度地检测半导体工艺中使用的氨水浓度。
特点
DIN96的小巧尺寸
可以同时显示检测值和参数,也可以进行温度检测
校正曲线的补正功能
操作简单,只需要与已测溶液的1个浓度点相匹配
可以实现超纯氨水的高精度的温度补偿
传感器使用了耐热、耐蚀性良好的材质
自由电源
存储备份
规格
型号 |
ON-96 |
测量液 |
超纯氨水ELM等级+DIW |
测量原理 |
根据内部测量曲线将测量到的电导率换算成NH4OH浓度 |
测量范围 |
0.00?2.00wt%5.0?50.0℃(只显示温度) |
再现性 |
25℃±5℃时在±3%/FS条件下使用半导体用氨水(Mitsubishi Gas Chemical Corp.,超纯氨水ELM等级)中 |
传送输出 |
DC4?20mA (隔离输入输出型),最大负荷电阻500Ω |
传送输出范围 |
0.00?2.00wt% |
调整功能 |
1c触点输出 2CH独立电容:AC250V,3Amax(电阻负荷) |
控制操作 |
ON/OFF控制:上限操作(Hi)或者下限操作(Lo)(通过面板DIP开关进行选择切换) *上、下限设定范围 量程内 *控制幅度 全刻度的0?20%(0?±10%)设定值,可以通过绝对值进行设定 |
附加功能 |
1)单元常数的设定 2)校正曲线补正功能 3)各种错误信息 1.传感器诊断错误 (温度传感器短路、温度传感器断线) 2.测量范围外错误 (全刻度以上、全刻度以下) 3.系统错误 (A/D变频器不良、存储器异常) 4)校正时的传送输出:连续、保持前值 (通过面板DIP开关进行选择切换) 5)温度校正功能 :1点校正 |
参考温度 |
25℃ |
温度补偿系数 |
超纯氨水, ELM等级 |
温度补偿范围 |
5至50℃ |
电源 |
AC90?260V ,50/60Hz ,10W |
构造 |
面板固定DIN96×96 室内安装型外盒:SPCC 面板:ABS |
外形尺寸 |
96(W)×96(H)×145(D) 外盒深度:135mm |
质量 |
约650g |
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